日前，位于嘉定区菊园新区的中国科学院上海硅酸盐研究所报送案例——聚焦新材料“卡脖子”难题　促进半导体成套专利产业化，获评“２０２４年上海市专利转化运用十大典型案例”之一。

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光刻机是集成电路制造中最复杂、难度最高、价格最昂贵的核心设备，对芯片的工艺制程起着决定性作用。在芯片的制造过程中，光刻约占整体制造成本的３５％，而紫外级氟化钙晶体是光刻机的核心光学材料。

上海硅酸盐所大力整合所内外产学研资源、攻克技术难题，将八英寸紫外级氟化钙晶体成套制备专利技术进行产业化，与地方企业联合共建产业基地，助力企业建立标准化氟化钙晶体生长模式和批量化制备平台，目前，已具备年产量大于等于５００块毛坯料的生产能力，相关产品关键性能指标均已达到国际同等产品水平，有望给国产光学元件、超强激光等领域带来全新的爆发式增长点。

“紫外级氟化钙晶体是高精密光学仪器设备、超大望远镜、高功率激光器及红外光学系统等行业的核心材料。我们通过共建‘氟化物晶体联合实验室’与半导体企业联合攻关，有效打通院所与企业技术需求的‘堵点’，同时不断提高晶体产品紫外品质。”上海硅酸盐所高级工程师姜大朋介绍。

此外，上海硅酸盐所还牵头联合相关企业、学会共同制订《ｉ线光刻级氟化钙晶体元件》团体标准，携手推动科技成果向实际应用转化。上海硅酸盐所表示，院所将继续充分发挥“国家队”技术策源地作用，积极推动科研成果转化为新质生产力，为高质量发展贡献力量。

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